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半导体实验室气路设计理念
安全理念,我们做到了对实验设备可能产生的有害废气、废水进行特殊设计、处理,保障实验人员的身体健康;在安全出口方面考虑到的都是根据具体情况设计的zui短的逃生路线,优化洗眼器及紧急冲淋装置的位置,增加了发生以外事故的逃生几率,减少了突发情况
合理的布局,对实验室家具、介质系统进行正确设计、合理选材、规范施工 ,根据人体工程学原理,生产出zui人性化的设备,符合绝大部分人的要求。同时在通风设施上的安装布局都是按照标准来执行的,保证了实验人员有一个良好的工作环境。
半导体实验室气路
近年来实验室投资的不断加大,仪器设备的迅速增加,用气量也逐年增加,传统的供气模式已经难以满足仪器设备增加的需求,同时分散供气模式带来的实验室布局混乱,钢瓶的频繁更换也对实验室的管理和维护造成了困难,为了解决以上两个方面的问题,就需要一套安全性高且能实现集中分配供气的系统完成从气源向仪器的供气,这就是实验室高纯气体管道系统的功能所在。
实验室气体采用集中供气方式,由实验室外专用供气区域用管路引进。除了洁净空气由空气压缩系统直接产生外,其余气体都是采用高压气瓶供气。每种气体都要有主供和备供气瓶,并安装自动切换面板进行供气控制,保证不间断供气。另外主要的控制阀门和减压阀门都应安装在实验室外。实验室气体由不锈钢管路输送,一般1.5米内并必须有支架固定在墙面。在实验室内所有管路安装在天花板下方,沿墙进行明设。所有管路标明连接的气体。气体管路每隔1.5米的距离,都要有明确标示,同时指示气体的流向。所有减压器都需要连接一条通出气体存藏区的排气管路。易燃、氧化气体排气管路不能并在一起。所有设计和施工必须符合相关的规范和要求,如:《科学实验室建筑设计规范》–JGJ 91-93;《氢气使用安全技术规程》-GB 4962-1985;《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》-GB50236-1998。
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