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半导体实验室气路系统的维护事项和发生故障的原因

时间:2022-08-25 浏览次数:60

  半导体实验室气路在实验室中,可以提供热源的气体一般是:天然气、煤气、液化气等,使用这种燃气主要就是用于试样熔融分解和一些玻璃器皿制造,也能用在煤气沙浴。它的使用场所一般是在试验台或者实验室通风柜中,但是在试验台上使用,要保证台面耐高温和设计原子吸收或其他排气装置,同样也具有耐高温的性能。以上可燃气体都具有高危险性,进行气体管路的设计和安装时要达到国家的要求标准、行业规范,非专业工程师不得随意改动和安装,以免气体泄漏,造成事故的发生。
  半导体实验室气路系统的维护事项:
  1、对库存、备用或因任务不足需要封存一段时间的仪器设备要定期清洁、查点、进行防尘、防锈、防潮等方面的维护。
  2、各实验室必须建立严格的岗位责任制,系统根据所使用仪器设备的特点和要求,制定相应的维护保养措施,并认真落实,使仪器设备的维护保养做到经常化、制度化。
  3、要加强对实验技术人员以及学生的基本操作训练,使他们熟悉仪器设备性能特点,掌握基本操作方法,避免因操作不当或失误造成损坏事故,特别是大型精密仪器设备使用,要严格执行持证上岗的制度,严禁未经培训、考核不合格人员私自操作大型精密仪器。
  半导体实验室气路发生故障的原因:
  1、外部因素不正常所引起的故障;
  2、人为的操作使用过程不当引起的故障;
  3、自身内部某些元件质量缺陷引起的故障。

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