半导体实验室气路系统的维护事项和发生故障的原因

　　半导体实验室气路在实验室中，可以提供热源的气体一般是：天然气、煤气、液化气等，使用这种燃气主要就是用于试样熔融分解和一些玻璃器皿制造，也能用在煤气沙浴。它的使用场所一般是在试验台或者实验室通风柜中，但是在试验台上使用，要保证台面耐高温和设计原子吸收或其他排气装置，同样也具有耐高温的性能。以上可燃气体都具有高危险性，进行气体管路的设计和安装时要达到国家的要求标准、行业规范，非专业工程师不得随意改动和安装，以免气体泄漏，造成事故的发生。

　　半导体实验室气路系统的维护事项：

　　1、对库存、备用或因任务不足需要封存一段时间的仪器设备要定期清洁、查点、进行防尘、防锈、防潮等方面的维护。

　　2、各实验室必须建立严格的岗位责任制，系统根据所使用仪器设备的特点和要求，制定相应的维护保养措施，并认真落实，使仪器设备的维护保养做到经常化、制度化。

　　3、要加强对实验技术人员以及学生的基本操作训练，使他们熟悉仪器设备性能特点，掌握基本操作方法，避免因操作不当或失误造成损坏事故，特别是大型精密仪器设备使用，要严格执行持证上岗的制度，严禁未经培训、考核不合格人员私自操作大型精密仪器。

　　半导体实验室气路发生故障的原因：

　　1、外部因素不正常所引起的故障；

　　2、人为的操作使用过程不当引起的故障；

　　3、自身内部某些元件质量缺陷引起的故障。