半导体实验室气路发生故障的原因一般可归纳为以下3类

　　（1）半导体实验室气路外部因素不正常所引起的故障；

　　（2）人为的操作使用过程不当引起的故障；

　　（3）半导体实验室气路自身内部某些元件质量缺陷引起的故障。

　　1、仪器外部因素不正常引起的设备故障

　　这类故障主要由于实验室环境温度、湿度不适宜，供电电压不稳，外部电磁场以及仪器受震动而引起的。在温度过高、湿度过大、通风不良等环境条件下，设备运行过程中某些元件会过热，甚至烧毁，电路板会氧化、遭腐蚀损坏，电路短路以及导电性灰尘吸潮也能够直接烧坏元件。

　　2、操作不当或麻痹大意引起故障

　　如果操作者在实验过程中操作不当，致使一些液体流入仪器内部的电路板或元件上，会发生化学腐蚀和电化学腐蚀，使仪器受损。有的仪器设备在开机后须预热一段时间方可使用，而有的仪器设备在开机后须按要求进行调整、校正参数才能使用。如果仪器发生故障前的征兆没能引起使用者注意，极有可能造成仪器损坏。这些人为操作不当出现的故障应引起管理者足够重视。

　　3、仪器设备质量问题引起的故障

　　碳膜电位器，多圈电位器或机械零部件因磨损、氧化或接触不良能够造成仪器设备的故障；仪器设备所使用的元器件性能不佳，例如，半导体器件、集成电路、电阻、电容等性能不稳定也会引发故障；仪器设备生产厂家制造工艺落后、元器件虚焊、插件接触不良，也能使仪器在使用过程中因瞬间电流偏高而击穿元器件，造成短路或开路的故障。

　　半导体实验室气路系统的维护事项有哪些？

　　1、对库存、备用或因任务不足需要封存一段时间的仪器设备要定期清洁、查点、进行防尘、防锈、防潮等方面的维护。

　　2、各实验室必须建立严格的岗位责任制，半导体实验室气路系统根据所使用仪器设备的特点和要求，制定相应的维护保养措施，并认真落实，使仪器设备的维护保养做到经常化、制度化。

　　3、要加强对实验技术人员以及学生的基本操作训练，使他们熟悉仪器设备性能特点，掌握基本操作方法，避免因操作不当或失误造成损坏事故，特别是大型精密仪器设备使用，要严格执行持证上岗的制度，严禁未经培训、考核不合格人员私自操作大型精密仪器。

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