半导体实验室气路系统的维护保养事项

时间：2023-01-12 浏览次数：215

　　半导体实验室气路设计理念是安全、合理、环保!那么主要做到的都是什么呢?安全理念，我们做到了对实验设备可能产生的有害废气、废水进行特殊设计、处理，保障实验人员的身体健康;在安全出口方面考虑到的都是根据具体情况设计的Z短的逃生路线，优化洗眼器及紧急冲淋装置的位置，增加了发生以外事故的逃生几率，减少了突发情况。合理的布局，对实验室家具、介质系统进行正确设计、合理选材、规范施工，根据人体工程学原理，生产出人性化的设备，符合绝大部分人的要求。同时在通风设施上的安装布局都是按照标准来执行的，保证了实验人员有一个良好的工作环境。

　　半导体实验室气路系统的维护事项：

　　1、对库存、备用或因任务不足需要封存一段时间的仪器设备要定期清洁、查点、进行防尘、防锈、防潮等方面的维护。

　　2、各实验室必须建立严格的岗位责任制，系统根据所使用仪器设备的特点和要求，制定相应的维护保养措施，并认真落实，使仪器设备的维护保养做到经常化、制度化。

　　3、要加强对实验技术人员以及学生的基本操作训练，使他们熟悉仪器设备性能特点，掌握基本操作方法，避免因操作不当或失误造成损坏事故，特别是大型精密仪器设备使用，要严格执行持证上岗的制度，严禁未经培训、考核不合格人员私自操作大型精密仪器。

　　半导体实验室气路气体采用集中供气方式，由实验室外专用供气区域用管路引进。除了洁净空气由空气压缩系统直接产生外，其余气体都是采用高压气瓶供气。每种气体都要有主供和备供气瓶，并安装自动切换面板进行供气控制，保证不间断供气。另外主要的控制阀门和减压阀门都应安装在实验室外。实验室气体由不锈钢管路输送，一般1.5米内并必须有支架固定在墙面。在实验室内所有管路安装在天花板下方，沿墙进行明设。