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高纯气体管路设计“七要点”

更新时间:2024-02-21  |  点击率:255

高纯气体管路设计“七要点"

1、气体特性

了解气体特性,规划独立的供应区域。一般根据气体特性分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区。将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙和泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体于毒性/腐蚀性气体放置同一区域。

2、输送距离

管路设计需要考虑输送至用气点的距离,距离越长,成本越高,风险越高。

通常较合理的设计流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4"~3/8"。

3、设备分布情况

根据用气设备的分布情况吗,高纯气体的管网大小长短应适宜,不宜过大或过长;宜采用不封闭的环形管路,在末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间"引起高纯气体的污染。

4、减少管路“死区"

管路中不应设有盲管,减少不流动气体的“死区",在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区"形成而滞留污染物,降低气体纯度。

5、输送系统“分等级"

对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。

6、采样仪器及“采样口"

为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。

7、确保气体纯度

在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器。